��ࡱ�>�� T��������S������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������ f2�ɀ����\punknown B�a�=���=h\:�#8X@�"��1����Arial1����Arial1����Arial1����Arial1.����Times New Roman1����Arial1������[SO1h8����[SO1,8����[SO18����[SO1�8����[SO1�����[SO1�����[SO1�<����[SO1�>����[SO1�?����[SO1�4����[SO1�4����[SO1� ����[SO1� ����[SO1�����[SO1�����[SO1� ����[SO1�����[SO1������[SO"�"#,##0;"�"\-#,##0"�"#,##0;[Red]"�"\-#,##0"�"#,##0.00;"�"\-#,##0.00#"�"#,##0.00;[Red]"�"\-#,##0.007*2_ "�"* #,##0_ ;_ "�"* \-#,##0_ ;_ "�"* "-"_ ;_ @_ .))_ * #,##0_ ;_ * \-#,##0_ ;_ * "-"_ ;_ @_ ?,:_ "�"* #,##0.00_ ;_ "�"* \-#,##0.00_ ;_ "�"* "-"??_ ;_ @_ 6+1_ * #,##0.00_ ;_ * \-#,##0.00_ ;_ * "-"??_ ;_ @_ \$#,##0_);\(\$#,##0\)\$#,##0_);[Red]\(\$#,##0\) \$#,##0.00_);\(\$#,##0.00\)% \$#,##0.00_);[Red]\(\$#,##0.00\)�"$"#,##0_);\("$"#,##0\)!�"$"#,##0_);[Red]\("$"#,##0\)"�"$"#,##0.00_);\("$"#,##0.00\)'�""$"#,##0.00_);[Red]\("$"#,##0.00\).�)_(* #,##0_);_(* \(#,##0\);_(* "-"_);_(@_)7�2_("$"* #,##0_);_("$"* \(#,##0\);_("$"* "-"_);_(@_)6�1_(* #,##0.00_);_(* \(#,##0.00\);_(* "-"??_);_(@_)?�:_("$"* #,##0.00_);_("$"* \(#,##0.00\);_("$"* "-"??_);_(@_)��� � ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� ��� �� � � ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� � �� �� ����� � ���P� � ���P � � ��� � � ���� � ���� � ���� ����a>� ���� �� ���� �� ����� � � ����ff��� ����� ����� ����`� ���� �� ���� �� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ����� ������� ����� � � ����  � �� �� ||@=�}A} #,##0.00ef;_(@_) }A} #,##0.00ef;_(@_) }A} #,##0.00ef;_(@_) }A} #,##0.00ef;_(@_) }A} #,##0.00ef;_(@_) }A} #,##0.00ef ;_(@_) }A} #,##0.00�L;_(@_) }A} #,##0.00�L;_(@_) }A} #,##0.00�L;_(@_) }A} #,##0.00�L;_(@_) }A} #,##0.00�L;_(@_) }A} #,##0.00�L ;_(@_) }A} #,##0.0023;_(@_) }A} #,##0.0023;_(@_) }A} #,##0.0023;_(@_) }A} #,##0.0023;_(@_) }A}  #,##0.0023;_(@_) }A}! #,##0.0023 ;_(@_) }-}# #,##0.00}A}$ #,##0.00;_(@_) }A}% #,##0.00�?;_(@_) }A}& #,##0.0023;_(@_) }-}' #,##0.00}A}( ��#,##0.00����;_(@_) }A}) a�#,##0.00����;_(@_) }U}* #,##0.00;_(@_)  }�}- �}�#,##0.00����;_(@_) � � � �}�}. #,##0.00����;_(@_) ???� ???� ???� ???�}-}/ �#,##0.00}-}0 ��#,##0.00}A}1 �}�#,##0.00���;_(@_) }A}4 #,##0.00;_(@_) }A}5 #,##0.00;_(@_) }A}6 #,##0.00;_(@_) }A}7 #,##0.00;_(@_) }A}8 #,##0.00;_(@_) }A}9 #,##0.00 ;_(@_) }A}: �e�#,##0.00���;_(@_) }�}; ???�#,##0.00����;_(@_) ???� ???� ???� ???�}�}< ??v�#,##0.00�̙�;_(@_) � � � �}x}=����#,##0.00�����̙�;_(����� ����� ������!20% - :_��eW[��r� 1�O��20% - :_��eW[��r� 1 ef���� �%�!20% - :_��eW[��r� 2�O�"�20% - :_��eW[��r� 2 ef���� �%�!20% - :_��eW[��r� 3�O�&�20% - :_��eW[��r� 3 ef���� �%�!20% - :_��eW[��r� 4�O�*�20% - :_��eW[��r� 4 ef���� �%�!20% - :_��eW[��r� 5�O�.�20% - :_��eW[��r� 5 ef���� �%�!20% - :_��eW[��r� 6�O�2�20% - :_��eW[��r� 6  ef���� �%�!40% - :_��eW[��r� 1�O��40% - :_��eW[��r� 1 �L���� �%�!40% - :_��eW[��r� 2�O�#�40% - :_��eW[��r� 2 �L渷� �%�!40% - :_��eW[��r� 3�O�'�40% - :_��eW[��r� 3 �L��� �%�!40% - :_��eW[��r� 4�O�+�40% - :_��eW[��r� 4 �L���� �%�!40% - :_��eW[��r� 5�O�/�40% - :_��eW[��r� 5 �L���� �%�!40% - :_��eW[��r� 6�O�3�40% - :_��eW[��r� 6  �L�մ� �%�!60% - :_��eW[��r� 1�O� �60% - :_��eW[��r� 1 23���� ����%�!60% - :_��eW[��r� 2�O�$�60% - :_��eW[��r� 2 23ږ�� ����%�!60% - :_��eW[��r� 3�O�(�60% - :_��eW[��r� 3 23�כ� ����%�!60% - :_��eW[��r� 4�O�,�60% - :_��eW[��r� 4 23���� ����%�! 60% - :_��eW[��r� 5�O�0�60% - :_��eW[��r� 5 23���� ����%�!!60% - :_��eW[��r� 6�O�4�60% - :_��eW[��r� 6  23���� ����%�"�����~vR�k� #h���+��h�� I}�%� $h�� 1�=��h�� 1 I}�%O���� %h�� 2�=��h�� 2 I}�%�?����� &h�� 3�=��h�� 3 I}�%23����� 'h�� 4�/��h�� 4 I}�%�(�]�5���] ����� ���%������8^ĉ�)}Y�5��}Y ����� �a�%� *Gl;`�G��Gl;` �%O���O����+�����'�^�,��� ��'�^[0]� -���{�o�����{ ����� ��}�%������ ���.�h�gUSCQmc�t^�N;e��NN�Y T'`+Rf[�SUSMO T�y2018-N�V�yf[b�'YޏSf[irtxvz@b�]N�PS�_fsYUx�Xu�kNFUN^�f[b�Sf[�] z _�7u-N�V�wS���N gP�lQ�SirD�ňY萺N�NYR�gSf[H�%mZS�Xu�kN �y�^;S�y'Yf[D�^\,{�N;Sb���ww Ym_l'Yf[;Sf[b�D�^\,{N;Sb�irtSf[�[y��[w�pQLNyr�R/e'Yf[H�?e-N�yb�R��\uir���nNǏ zxvz@b�Q�W-N�V�yf[b�'YޏSir@b _�[/n�NN�b/gxvzb� gP�lQ�Sё�p��v��'k�y�S�N �R�g�NhV gP�lQ�ST[=r�e,gtSf[xvz@bl�sWS�N�]N'Yf[m_�Z�s�WdW�~� �nfё�e'Yf[�S�v�Q �k�Nꏡ��N gP�lQ�S _�Qς�]NShg[��ewzz��Y gP�lQ�S\�x 1r�_�f"l���nňY gP�lQ�S�q�SuirS�]Y[NGS�S�]f[b��sꖖ�-��Z Ym_l^�'Yf[mg�]!h:S�S�N�l3�^�'Yf[H�܏�l���[�[�R�SFU�T�h����[�l � gP�lQ�SNg-N�s-��Q��'Yޏwm�N'Yf[�s�~kS -N�V�QN�yf[b��pI�xvz@b�s)R���lWSw�Nl;Sb� g:gSf[�sn�y NNSSf[Ɩ�V���N gP�lQ�S� }�x-N�V�yf[�b/g'Yf[Ğ OGYĞ�_OS�N*�zz*�)Y'Yf[�s���� �^(uPg�e�-N�V � gP�lQ�S4T�[O _�[�lWS'Yf[�s��ga6International Center for Materials Nanoarchitectonics hgSfޘ��['Yeu'Yf[ _*mpg�N"_�WSl�e'Yf[�Y�s���1q���n�y�b�mg�] � gP�lQ�S�sf_pg�p�S^��X:SYe��SO��@\��p�S N-N �R܀ʃ �l3�^�|�l�h���vKm@bY[O��O��JS�[SO��m3W � gP�lQ�S�s�Oe�_��tQN��t�]f[b� �NSWSt�]'Yf[-N��t�]f[b�ZS�XTR�e�[���W0W ���wZ VnWS-N�p�]N gP�#��NlQ�S�P�qR� -N�V�QN�yf[b�6��Sxvz@b��9N9NNgk�-N�V�pI�;`lQ�Sѐ�]�pI�xvzb����e�N�y�^;S�y'Yf[�[�_���p�S'Yf[�ss�Ym_l�Q�g'Yf[�_j��T&O�k�N'Yf[�O�Q �eP����;So��b/g� Nwm � gP�lQ�S1g�eN-Nq\'Yf[�gO�[ q\Nw;Sf[�yf[b�o�irxvz@bĞ)P)P�\WS^�f[b�bS�m_Eu�[�_�e�N�e���n�y�b���N gP�lQ�S\�h�hY[�s�WS�N'Yf[ zfe 'k2muirSf[xvz@bNgf[fNgŖZς�]'Yf[R�q��N'Yf[*PHe �_lX[�P�y�b gP�#��NlQ�Sm_T�����R�T'Yf[Ay���si` h -N�V�yf[b� Nwm�^(uirt@bfkwmNS[��wm�VP����]N'Yf[>�sO^N�V?�"l���y�b gP�lQ�S[Oq\RlQ�SNg�s � ѐ�]�kKQ5u`l gP�lQ�Sb+ueg -N�V�yf[b�ё^\xvz@b�s�_:_  Nwm�N���[N gP�lQ�Su�S-N�V9�6�͑�]Ɩ�VlQ�S,{NNkQxvz@b>�Sfhf�s����lb�]'Yf[�s�Ng���luir�] z��m3W � gP�lQ�SbSO� 'Yޏ�NMb>mc� g�R gP�lQ�S�s�S`i�y�^�] zf[b�MOeP1g�Q�e'Yޏt�]'Yf[)nckga�s��Ym_lw�Q�yb�H�wm�Qѐ�]'Yf[�SfN q\N�e�e�No�N gP�lQ�S�fNZS  NwmThQo�irx�S gP�lQ�ST[�NR`U��^�'Yf[Ng�N�N%N�_fkIlo�f�^�_�eo�_�S gP�lQ�ShT�e�Q�[�N+Y �~�� �nfё�e'Yf[�YSfPN&q�\��4�-N�V�w�lS�]���N gP�lQ�SS�NS�]xvzb�RZ�f��u ѐ�]�[��[f����N gP�lQ�SH�OO�lWS�]N'Yf[ za'Yޏ�]N'Yf[ߏ�Q  Nwm͑QX���n�y�b gP�lQ�Sݐё�Q�e�[nNS'Yf[v����yr\JS�[SO�'Yޏ � gP�lQ�Su��Ng ��V?�!��V�[�[���[hg�m -N�yb�'YޏSf[irtxvz@bѐ�Qs^VnSw�NMb g�R@\�VnS-N;So�'Yf[ �R�eRR��\�y�b'Yf[hT m �lSw�V:W�S�NMb-N�_4T�Q S�NZSN�y�b gP�lQ�SH�uQuQ�]ΞH�Ŗ�V��/n�W^'Yf[c���up�~Y)R�N'Yf[uwm�lؚ�q�q�V{_lς-N5uR�e�s�X�y�b gP�lQ�S�sKQ�Qq\N3�7�NS�lS�]���N gP�lQ�Shg���Q b��)YeY5uP[���N gP�lQ�ShgƋ��Y�YO�\_[ _^uir�] zNZ  Nwm�e9N[�uir�b/g gP�lQ�S�N\OtS�N�gIg~g�wƋ�NCg�Nt�N�R@b�nf�TO � _V�1f -N�wS Nwm�] z gP�lQ�S���� Ym_lNSwmo�N���N gP�lQ�Su��������[^�'Yf[u���3�-N�V�w�lS�]���N gP�lQ�SR��\�[hQ�] zxvzb�H�][NN��t�]f[b��e�_�R�t, �,h-��-DV.��.J*/��/8 0�x01��182��2D3��3&�3~@4��4YE5��5O /6� �6' 7� �7 �7{ ]8� �8w /9� �9K ?:� �:_cc��B����� f2�ɀ $�`H�V�c(qp~�  d����MbP?_*+��%�����&�?'�?(�?)�?M Canon LBP3000�( �� odXLetterCanon� �� CCanon LBP3000���ddd      d d d d d dd�@@d  d  d dd d"edd     dd !"#$%&'()*d     "d    d     d!d d!    d ��@8 o� 3)<� ��o� 3)<� ���XXd2 �Arial\CNZ005.ICC\CNZ005.ICC\CNZ005.ICC ���CONFIDENTIALCONFIDENTIALH�Arial����Default Settings � X����"d,,�?�?�&�U} m} � } $ }  } m} �>} mt�tLRQPONMLKJIHGFEDCBA@?>=<;:9876543210/.-,+*)('&%$#"!  ��?@?@?@?@?@?@?@?@?@ ?@ ?@ ?@ ?@ ?@?@?@?@?@?@?@?@?@?@?@?@?@?@?@?@?@?@?@� >� >� >� >� >� >� ?� ?� ? � ? � ? � ? � ?� ? � ? � ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ? � ?� ?� ?� ?� ?� ? � ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ? � ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ?� ? � ? � ?!� ?� ?� ?� ?"� ?� ?#� ?� ?� ?� ?$� ? � ?� ?� ?� ?� ?%� ?� ?&� ?� ?� ?� ?'� ?� ?(� ?� ?� ?� ?)� ?� ?*� ?� ? � ?� ?+� ?� ?,� ?� ? � ?� ?-� ?� ?� ?� ?.� ?� ?/� ?� ?0� ?� ?.� ?� ?1� ? � ?� ?� ?� ?� ?2� ? � ?3� ?� ?� ?� ?4� ? � ?5� ?� ?� ?� ?6� ?� ?7� ?� ?� ?� ?8� ?� ?� ?� ?� ?� ?9� ? � ?:� ?� ?� ?� ?;� ?� ?<� ?� ?� ?� ?=� ?� ?>� ?� ??� ?� ?@� ?� ?A� ?� ?� ?� ?B� ?� ?C� ?� ?� ?� ?D� ?� ?3� ?� ?� ?� ?E� ?� ?F� ?� ?� ?� ?G� ? � ?H� ?� ?� ?� ?I� ?� ?C�D lTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTT ?@!?@"?@#?@$?@%?@&?@'?@(?@)?@*?@+?@,?@-?@.?@/?@0?@1?@2?@3?@4?@5?@6?@7?@8?@9?@:?@;?@<?@=?@>?@??@� ?� ?� ?� ?J� ?� ?K� !?� !? � !?� !?L� !? � !?M� "?� "? � "?� "?N� "?� "?O� #?� #? � #?� #?P� #?� #?� $?� $?� $?� $?Q� $?� $?R� %?� %?� %?� %?S� %? � %?T� &?� &?� &?� &?U� &? � &?V� '?� '?� '?� '?W� '? � '?X� (?� (?� (?� (?Y� (?� (?Z� )?� )?� )?� )?[� )? � )?� *?� *?� *?� *?\� *?� *?]� +?� +?� +?� +?^� +? � +?_� ,?� ,?� ,?� ,?`� ,? � ,?a� -?� -?� -?� -?b� -? � -?� .?� .?� .?� .?c� .? � .?d� /?� /?� /?� /?e� /? � /?f� 0?� 0?� 0?� 0?g� 0? � 0?h� 1?� 1?� 1?� 1?i� 1? � 1?j� 2?� 2?� 2?� 2?k� 2?� 2?l� 3?� 3?� 3?� 3?m� 3? � 3?n� 4?� 4?� 4?� 4?o� 4?� 4?p� 5?� 5??� 5?� 5?q� 5? � 5?r� 6?� 6??� 6?� 6?s� 6? � 6?t� 7?� 7??� 7?� 7?u� 7?� 7?� 8?� 8??� 8?� 8?v� 8? � 8?w� 9?� 9??� 9?� 9?x� 9? � 9?� :?� :??� :?� :?y� :? � :?z� ;?� ;?� ;?� ;?{� ;?� ;?|� <?� <?� <?� <?}� <?� <?� =?� =?� =?� =?~� =? � =?� >?� >?� >?� >?�� >? � >?�� ??� ??� ??� ??�� ??� ??��D lTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTT@?@A?@B?@C?@D?@E?@F?@G?@H?@I?@J?@K?@L?@M?@N?@O?@P?@Q?@R?@S?@T?@U?@V?@W?@X?@Y?@Z?@[?@\?@]?@^?@_?@� @?� @?� @?� @?�� @?� @?�� A?� A?� A?� A?�� A? � A?� B?� B?� B?� B?�� B?� B?�� C?� C?� C?� C?�� C? � C?�� D?� D?� D?� D?�� D? � D?�� E?� E?� E?� E?�� E? � E?� F?� F? � F?� F?�� F?� F?�� G?� G? � G?� G?�� G? � G?�� H?� H? � H?� H?�� H?� H?�� I?� I? � I?� I?�� I? � I?�� J?� J? � J?� J?�� J?� J?�� K?� K? � K?� K?�� K?� K?�� L?� L? � L?� L?�� L? � L?�� M?� M?.� M?� M?�� M? � M?� N?� N?.� N?� N?�� N? � N?�� O?� O?.� O?� O?�� O? � O?�� P?� P?� P?� P?�� P?� P?�� Q?� Q?� Q?� Q?�� Q? � Q?�� R?� R?� R?� R?�� R?� R?� S?� S?� S?� S?�� S? � S?�� T?� T? � T? � T?�� T?� T?�� U?� U?� U?� U?�� U? � U?�� V?� V??� V?� V?�� V?� V?�� W?� W??� W?� W?�� W?� W?�� X?� X??� X?� X?�� X? � X?�� Y?� Y??� Y?� Y?�� Y?� Y?�� Z?� Z??� Z?� Z?�� Z? � Z?�� [?� [??� [?� [?�� [?� [?�� \?� \??� \?� \?�� \?� \?�� ]?� ]?� ]?� ]?�� ]?� ]?�� ^?� ^?� ^?� ^?�� ^? � ^?R� _?� _?� _?� _?�� _?� _?�D lTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTT`?@a?@b?@c?@d?@e?@f?@g?@h?@i?@j?@k?@l?@m?@n?@o?@p?@q?@r?@s?@t?@u?@v?@w?@x?@y?@z?@{?@|?@}?@~?@?@� `?� `?� `?� `?�� `? � `?�� a?� a?.� a?� a?�� a? � a?�� b?� b? � b?� b?�� b?� b?�� c?� c? � c?� c?�� c? � c?�� d?� d? � d?� d?�� d? � d?�� e?� e? � e?� e?�� e?� e?�� f?� f? � f?� f?�� f?� f?� g?� g? � g?� g?�� g? � g?�� h?� h? � h?� h?�� h? � h?�� i?� i? � i?� i?�� i?� i?�� j?� j?.� j?� j?�� j? � j?�� k?� k?.� k?� k?�� k?� k?�� l?� l?� l?� l?�� l?� l?�� m?� m?� m? � m?�� m? � m?�� n?� n?.� n? � n?�� n?� n?�� o?� o? � o? � o?�� o?� o?�� p?� p? � p? � p?�� p? � p?�� q?� q? � q? � q?�� q? � q?�� r?� r? � r? � r?�� r?� r?�� s?� s? � s? � s?�� s? � s?�� t?� t? � t? � t?�� t?� t?�� u?� u? � u? � u?�� u? � u?�� v?� v? � v? � v?�� v?� v?�� w?� w? � w? � w?�� w?� w?�� x?� x? � x? � x?�� x? � x?� y?� y? � y? � y?�� y?� y?� z?� z? � z? � z?�� z?� z?w� {?� {?�� {? � {?�� {?� {?�� |?� |?�� |? � |?�� |? � |?�� }?� }? � }? � }?�� }? � }?�� ~?� ~??� ~?� ~?�� ~?� ~?�� ?� ??� ?� ?�� ? � ?��D lTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTT�?@�?@�?@� �?� �?� �?� �?�� �?� �?�� �?� �?� �?� �?�� �?� �?�� �?� �?� �?� �?�� �?� �?� 8(TT���d�R�L�( � ��R� � C ������]F! d ��Z�R� � C ������]F! d ��Z�R� � C ������]F! d ��Z�R� � C ������]F! d ��Z�R� � C ������]F! d ��Z�R� � C ������]F! d �>�o@��\\\��m�7gg����D �������Oh��+'��0T(0 @L�unknown@�6��������՜.��+,��0�HP X`hp x �� sheet1 ������  !"#$%&'()*+,-./0123456789:;<=>?@AB����DEFGHIJ����LMNOPQR����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������Root Entry�������� �F��'�������Workbook��������������SummaryInformation(����CDocumentSummaryInformation8������������K